ตัวควบคุมการตัดพลาสม่าส่วนใหญ่ประกอบด้วยส่วนประกอบต่อไปนี้:
แหล่งพลังงานความถี่สูง-: ใช้เพื่อสร้างสนามไฟฟ้าความถี่สูง-
เครือข่ายที่ตรงกัน: ใช้เพื่อปรับการกระจายของสนามไฟฟ้าความถี่สูง-ภายในห้องพลาสมา
ห้องพลาสมา: ใช้ในการแตกตัวเป็นไอออนโมเลกุลของก๊าซและสร้างพลาสมา
ระบบสุญญากาศ: รับประกันระดับสุญญากาศและความเสถียรของห้องพลาสมา
ระบบควบคุม: ใช้เพื่อควบคุมพารามิเตอร์พลาสมาและควบคุมคุณสมบัติทางไฟฟ้าของพลาสมาได้อย่างเสถียร
